高真空双气动挡板阀的流导测试 小阀的流导测试 该系列阀门分为手

高真空双气动挡板阀的流导测试。
小阀的流导测试。该系列阀门分为手动单气动和双气动三种驱动方式。
·阀门适用于空气和特殊气体，适用于半导体光伏表面处理等领域。
·将角阀主口与疏导测试枪体连接，副口通过导管连接干泵，一旁压缩空气导管，连接角阀的cda接口，疏导测试腔体，通过压力开关与电控测试相连接。竞技宝JJB
·准备就绪后，实验员穿戴无尘服，打开电控测试箱。实验员将枪体按压住，防止干泵运作时晃动。竞技宝JJB
·当气体压力达到33torr时，角阀达到气体压力值的时间是11.3秒，该角阀流导测试合格。