高真空双气动挡板阀流导测试 CBWAC中科九微 进行小阀流导

高真空双气动挡板阀流导测试。
CBWAC中科九微。
进行小阀流导测试。本系列阀门分为手动单气动、双气动三种驱动方式。jingjibao
·阀门适用于空气和特种气体，适用于半导体光伏表面处理等领域。
·将角阀主口与流导测试枪体连接，副口通过导管连接干泵，一旁压缩空气导管连接角阀的CDA接口。
·流导测试腔通过压力开关与电控测试箱连接。
角阀流导测试准备就绪，着装无尘服的试验员将电控测试箱开启。
·一侧实验员将腔体按压住，防止干泵运作时晃动，角阀的气体压力到达33torr的时间为11.4±1s竞技宝JJB。角阀到达气体压力值的时间是11.3秒。
该角阀流导测试合格。中科九微。